| | | | 《 | | | 》 | | | | | 2020 | | | | | | 2250 mm | | | | | | | | | | | | IF RH | | | | | | | | | 92 % | RH | | 0 . 0002 % 0 . 0002 % | 18 pppm | 1 . 0 | 2 . 0 | IF | | | 8 | 17 | | IF | | | | | IF | | | | 1 10 | 7 | SCI 6 5 | 2 17 | | |